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微加工准分子气体的用途
2024.06.18

微加工准分子气体,主要用于准分子激光设备中作为激光发生器的关键气体。其用途广泛,主要体现在以下几个方面:

  1. 材料加工与改性
    • 激光打标:适用于钻石等材料的打标。
    • 表面改性:改变材料表面的物理或化学性质。
    • 高碳钢淬火:利用激光的高能量实现快速淬火。
  2. 三维加工
    • 刻线、打孔:利用准分子激光技术可以得到小孔、刻线等精细结构。
    • 三维复杂图案加工:结合有效反馈(如激光测量)来控制光的输入,加工精度在深度方向可达亚微米量级。
  3. 高密度元件制造
    • 在高密度元件数量增多、微通道尺寸减小的背景下,准分子激光图像制作相比其他直接写入技术更具竞争力。例如,每秒可以得到>10000个过孔。
  4. 薄膜制备与图形制作
    • 在薄膜上直接制备图形,如射频识别电路(RFID)和医疗传感器上的金属薄膜。
    • 利用“TFA”(薄膜烧蚀过程)在薄膜厚度小于1微米时达到佳效果。
  5. 生物医疗应用
    • 生产新一代的医学呼吸器,目前正在接受美国食品与药物管理局(FDA)的评估。
    • 制作微型化的细胞培养工具(通常被称为“芯片上的实验室”)。
  6. 半导体、AMOLED平板显示等领域
    • 作为当今有效、可靠的脉冲紫外激光技术的代表,准分子激光器推进了半导体、AMOLED平板显示等多种成长型工业中的技术革新。

在具体应用中,微加工准分子气体的化学式主要为ArF,通常包装在16L钢瓶中。供应商如武汉纽瑞德特种气体有限公司等,提供了源头控制、渠道控制、分析控制等品质保证措施,以及全程控制安全和完善的售后服务体系。

总之,微加工准分子气体在制造业微加工、材料科学、生物医学等领域发挥着重要作用,是现代工业技术中不可或缺的一部分。

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